Reference number
ISO 16700:2016
© ISO 2024
International Standard
ISO 16700:2016
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
Edition 2
2016-08
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 2, 2016)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2023. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 16700:2016

Langue
Format
CHF 96
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Résumé

ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2016-08
    Stade
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS mises à jour

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