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Résumé

ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.

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Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2013-10
    Stade
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 7
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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Cette norme contribue à l'Objectif de développement durable suivant

9
Industrie, innovation et infrastructure

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