Рабочий проект
ISO/WD 19383
Atomic Layer Deposition-- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Ссылочный номер
ISO/WD 19383
Версия 1
Рабочий проект
ISO/WD 19383
89126
Проект данного международного стандарта был подготовлен рабочей группой.

Тезис

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Общая информация

  •  : В стадии разработки
    : Рассылка комментариев [20.60]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ