ISO 14644-12:2018
2018-08
Тезис
This document covers the monitoring of air cleanliness by particles in terms of concentration of airborne nanoscale particles.
For monitoring purposes, only populations of particles with a lower size limit of 0.1 microns (100 nm) or less ? "nanoscale" ? are considered.
The monitoring given in this document is for use mainly in "operational" states.
NOTE 1 For the purposes of this document, reference is made to "nanoscale particles", which means all nano-objects having one (nanoplate), two (nanofibre) or three (nanoparticle) dimensions in the nanoscale.
NOTE 2 As a consequence, the specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration of the cleanroom in operational state also considers process specifics, e.g., used equipment, personnel behaviour, etc.
NOTE 3 Health and safety considerations are excluded from this document.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2018-08Этап: Рассылка краткого отчета о пересмотре [90.60]
-
Версия: 1
-
Технический комитет :ISO/TC 209ICS :13.040.35
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Сейчас
ОпубликованоISO 14644-12:2018
Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет
Этап: 90.60 (Hа стадии пересмотра)-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
