ISO 18516:2006
Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution
Reference number
ISO 18516:2006
Версия 1
2006-11
© ISO 2024
В время отменен
Отозвано (Версия 1, 2006)

Тезис

ISO 18516:2006 describes three methods for measuring the lateral resolution achievable in Auger electron spectrometers and X-ray photoelectron spectrometers under defined settings. The straight-edge method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be larger than 1 micrometre. The grid method is suitable if the lateral resolution is expected to be less than 1 micrometre but more than 20 nm. The gold-island method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be smaller than 50 nm.

Annexes A, B and C provide illustrative examples of the measurement of lateral resolution.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Отозвано
    Дата публикации
     : 2006-11
    Этап
    : Отмена международного стандарта [95.99]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 201/SC 2
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. ТК
  5. ISO/TC 201/SC 2
  6. ISO 18516:2006