Résumé
Le présent document spécifie l'ellipsométrie spectroscopique pour la détermination des propriétés optiques (indice de réfraction n et coefficient d'extinction k) et la classification optique de différent types de films de carbone amorphe dans le plan n-k.
Il s'applique aux films de carbone amorphe déposés par évaporation ionisée, pulvérisation, dépôt par arc cathodique, dépôt chimique en phase vapeur assisté plasma (PAVCD), par filament chaud, et d'autres techniques.
Il ne s'applique pas aux films à base de carbone modifié avec des métaux ou du silicium, aux films de carbone amorphe qui ont un gradient de composition/propriété dans l'épaisseur, aux peintures et aux vernis.
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Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2021-05Stade: Norme internationale publiée [60.60]
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Edition: 1Nombre de pages: 7
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Comité technique :ISO/TC 107ICS :25.220.99
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