Résumé
L'ISO 16700:2004 spécifie une méthode pour étalonner le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. L'ISO 16700:2004 ne s'applique pas aux MEB dédiés au mesurage de dimension critique.
Informations générales
-
État actuel: AnnuléeDate de publication: 2004-03Stade: Annulation de la Norme internationale [95.99]
-
Edition: 1Nombre de pages: 16
-
Comité technique :ISO/TC 202/SC 4ICS :37.020
- RSS mises à jour
Cycle de vie
-
Actuellement
-
Révisée par
PubliéeISO 16700:2016